射频传输路径之阻抗控制;CONTROL OF IMPEDANCE OF RF DELIVERY PATH

摘要

一电浆系统包括了一RF产生器及一匹配盒，该匹配盒包括一阻抗匹配电路，该阻抗匹配电路经由一RF缆线而连接至该RF产生器。该电浆系统包括经由一RF线连接至该匹配盒的一电浆反应器及一卡盘。该RF线形成了一RF供应路径的一部分，该RF供应路径从该RF产生器延伸穿过该匹配盒至该卡盘。该电浆系统更包括一相位调整电路，该相位调整电路连接至该阻抗匹配电路与该卡盘之间的RF供应路径。该相位调整电路具有连接至该RF供应路径的一端部、及接地的另一端部。该电浆系统包括一控制器，该控制器连接至该相位调整电路。该控制器系用以基于一调谐配方而改变该相位调整电路的一参数以控制该RF供应路径之阻抗。