| 摘要 |
<p>ドープされた半導体材料からなる板形状領域を有しかつ板形状領域に接触する４つの接点を備えるホール素子によって等方性応力を決定する。接点は四角形の角を形成し、四角形の互いに隣接する２つの角は一辺を画定する。本方法は、ホール素子のファンデルパウ測定セットアップにおいてファンデルパウ・トランス抵抗値を決定する。ホール素子の４つの接点は複数の接点ペアを形成し、１つの接点ペアは、四角形の互いに隣接する角である２つの接点を備え、一方の接点ペアは電流を供給するために使用され、他方の接点ペアは電圧を測定するために使用される。供給される電流と測定される電圧との関係はファンデルパウ・トランス抵抗値を定義する。本方法は、少なくとも１つのファンデルパウ・トランス抵抗値に少なくとも依存する応力信号を決定し、決定された応力信号を温度依存性の予め決められた基準応力信号と比較することによって、等方性応力を決定する。</p> |
