发明名称 用于处理太阳电池的方法及设备;METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING SOLAR CELL
摘要 揭示一种处理太阳电池的方法,其中在离子植入制程及/或丝网印刷制程期间,太阳电池的边缘被覆盖、涂覆或掩蔽。这种覆盖物可以是在植入期间防止离子穿透的物质,或者可以是在金属化制程期间阻止经烧结的金属浆料扩散的物质。在一些实施例中,在这两种制程期间边缘被覆盖。在其他实施例中,相同材料可以执行两个功能。
申请公布号 TW201528528 申请公布日期 2015.07.16
申请号 TW103142935 申请日期 2014.12.10
申请人 瓦里安半导体设备公司 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. 发明人 贝特曼 尼可拉斯P T BATEMAN, NICHOLAS P. T.;博斯尔 维克拉姆M BHOSLE, VIKRAM M.;具 本雄 KOO, BON-WOONG
分类号 H01L31/0216(2014.01);H01L31/18(2006.01) 主分类号 H01L31/0216(2014.01)
代理机构 代理人 叶璟宗郑婷文詹富闵
主权项
地址 美国 US