处理液供给装置及处理液供给方法

摘要

在使作为处理液的光阻液(L)从吐出喷嘴(7)吐出时，可一边抑制生产率下降，一边使用一过滤器(52)达成该光阻液(L)之清净化。在光阻液(L)所流通的供给管路(51)上设置过滤器(52)与泵(70)或泵(111、112)。且，使通过了过滤器(52)之光阻液(L)的一部分从吐出喷嘴(7)吐出，并且使残留的光阻液(L)回到过滤器(52)的一次侧，在进行后续的吐出动作时，使该残留的光阻液(L)再次通过过滤器(52)。在像这样的动作程序中，关于回到过滤器(52)之一次侧之光阻液(L)的回流量，系设定成与从吐出喷嘴(7)所吐出之光阻液(L)的供给量相同，或是比该供给量多。