使用磁性反应复合物的ＣＭＰ设备;CMP EQUIPMENT USING MAGNET RESPONSIVE COMPOSITES

摘要

本发明所述的实施例一般系关于用于磁性反应化学机械研磨的装置与方法。在一个实施例中，提供一种包括具有一或多个磁场产生器的支撑件之装置，一或多个磁场产生器在支撑件中形成。磁场产生器可以产生至少一个磁场。磁性反应复合物经定位而与磁场产生器磁性连接。当磁性反应复合物接收来自磁场产生器的磁场时，磁性反应复合物改变形状。