空间光调变器、光描绘装置、曝光装置及元件制造方法

摘要

兼顾构件之支承刚性与驱动力、驱动效率之提升。;空间光调变器，具备：基板；第一光调变元件，具有反射镜、支承该反射镜并同时相对该基板位移之可动部、及在较该可动部离开该基板之位置藉由与该可动部间之静电力吸附该可动部之上部电极；第二光调变元件，在该基板与该第一光调变元件相邻配置，具有反射镜、支承该反射镜并同时相对该基板位移之可动部、及在较该可动部离开该基板之位置藉由与该可动部间之静电力吸附该可动部之上部电极；以及电极支承部，将该第一光调变元件之该上部电极与该第二光调变元件之该上部电极共通地支承于该基板。