| 摘要 |
一种乾、湿分离之晶圆移载装置，其系于一多轴向进给机构上固定连结一固定框座，并于该固定框座上设有复数个第一拾取器，而可带动该复数个第一拾取器作多轴向的移动，另于该固定框座上叠设有一活动框座，该活动框座上并设有复数个第二拾取器，一固设于固定框座之升降驱动源，该升降驱动源之驱动杆系连结于该活动框座，使得活动框座可于固定框座上升降位移；藉此，当活动框座上升时，可利用固定框座上之第一拾取器拾取移载呈乾燥型态之晶圆，当活动框座下降时，则利用活动框座上之第二拾取器拾取移载呈潮湿型态之晶圆，进而可于单一移载装置上分离移载呈不同乾、湿型态之晶圆，达到高适用性及有效降低设备成本之效益。 |
