多重荷电粒子束之遮没装置及多重荷电粒子束描绘装置;BLANKING DEVICE FOR MULTIPLE CHARGED PARTICLE BEAMS AND MULTIPLE CHARGED PARTICLE BEAMS WRITING APPARATUS

摘要

本发明之其中一种形态之多重荷电粒子束之遮没装置，其特征为，系具备有：横移暂存器，系被配列为2维，并构成被串联地作了连接的复数之组；和复数之遮没器，系分别经由复数之横移暂存器中之相对应之横移暂存器而被作控制，并使多重束之对应之束分别进行遮没偏向；和复数之序列并列转换部，系沿着将复数之横移暂存器全体作包围的矩形区域之4边而被作配置，并以并列配线而被连接于藉由复数之横移暂存器所构成的复数之组之至少1个处；和复数之连接垫，系沿着矩形区域之4边而被作配置，并分别与复数之序列并列转换部之1个相互成组，且藉由单一配线而与相互成为一组之序列并列转换部作了连接。