| 摘要 |
プラズマ電力リミッタは、ウェハレベル製造技術を用いて他の回路要素と共に製造される。プラズマ電力リミッタは、信号基板とトリガ基板とを備え、これら基板の間に密閉キャビティが形成されイオン化可能な気体が充填される。信号基板はキャビティ内に信号ラインを含み、トリガ基板は少なくとも１つのトリガプローブを含み、該トリガプローブはトリガ基板から伝送ラインの方向に突出している。伝送ラインを伝送される信号がスレショルド電力レベルよりも大きい電力レベルを有する場合、キャビティ内の気体がイオン化されて伝送ラインとトリガプローブとの間に導電経路が形成され、高電力の電流が流し出される。 |
