一种电浆处理腔室及其冷却装置

摘要

本发明提供了一种电浆处理腔室及其冷却装置，其中，所述冷却装置包括：中空框状的出风组件，其主体上设置有多个出风口／出风带，固定于所述电浆处理腔室的顶板上；动力装置，其连接于出风组件，用于驱动所述出风组件产生风力。本发明提供的冷却装置体积小，易于清洗，并且能够对应于腔室或基片的不同领域进行温度控制。本发明还尤其适用于感应耦合型电浆处理腔室的绝缘顶板的降温。