发明名称 黏合方法;BONDING METHOD
摘要 本发明之黏合方法包含下列步骤:透过接着剂层(3)贴合基板(1)与支撑上述基板(1)之支撑板(2),且使用板状构件(30)按压之按压步骤;及于上述按压步骤之后,将透过上述接着剂层(3)贴合之上述基板(1)与上述支撑板(2)放置于比进行上述按压步骤之环境气压高之气压环境下之气压调整步骤。; and, after the pressing step, a pressure adjusting step of placing the substrate and the support plate bonded to each other through the adhesive layer in an environment having higher pressure than pressure of an environment in which the pressing step is performed.
申请公布号 TW201527114 申请公布日期 2015.07.16
申请号 TW103140258 申请日期 2014.11.20
申请人 东京应化工业股份有限公司 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 今井洋文 IMAI, HIROFUMI;久保安通史 KUBO, ATSUSHI;吉冈孝広 YOSHIOKA, TAKAHIRO;中田公宏 NAKADA, KIMIHIRO;加藤茂 KATO, SHIGERU;岩田泰昌 IWATA, YASUMASA
分类号 B32B37/10(2006.01);B32B37/12(2006.01);B32B41/00(2006.01);B32B7/12(2006.01);H01L21/683(2006.01);H01L21/02(2006.01) 主分类号 B32B37/10(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本 JP