用于基板处理腔室的阻隔器;ISOLATOR FOR A SUBSTRATE PROCESSING CHAMBER

摘要

一种用于一电浆处理腔室的处理套件。该处理套件包含复数个陶瓷拱形部件。各个陶瓷拱形部件具有一凹形第一端及一凸形第二端，且各个拱形部件的该第一端经配置以与一邻近拱形部件的一相邻端配对以形成一环形内阻隔器。