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发明名称
电子元件搬运方法及装置
摘要
本发明系一种电子元件搬运方法及装置,包括:提供一位于一机台台面上之转盘,其以间歇旋转方式之搬送流路以周缘所设之载槽对待搬送元件进行搬送;提供待搬送元件一自上侧吸附之负压,以提供待搬送元件上浮的驱力,使待搬送元件得以避免与底部机台台面过度密贴。
申请公布号
TW201528399
申请公布日期
2015.07.16
申请号
TW103100101
申请日期
2014.01.02
申请人
万润科技股份有限公司 ALL RING TECH CO., LTD.
发明人
王安田;黄子葳;黄清泰;黄建桦
分类号
H01L21/67(2006.01)
主分类号
H01L21/67(2006.01)
代理机构
代理人
主权项
地址
高雄市路竹区路科十路1号 TW
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