利用图案磊晶定向自组装以精确地切割线部;USE OF GRAPHO-EPITAXIAL DIRECTED SELF-ASSEMBLY TO PRECISELY CUT LINES

摘要

本发明提供一种用以在基板上形成图案化之表面形貌的方法。该基板初始设有形成于顶部上的曝露之复数个线部。该方法之一实施例包含以下步骤：对准及制备直接覆盖于该复数个线部的第一定向自组装（DSA）图案；及转移第一DSA图案以在该复数个线部中形成第一组切口。该实施例更包含以下步骤：对准及制备直接覆盖于该复数个线部的第二DSA图案，该复数个线部具有形成于其中的该第一组切口；及转移第二DSA图案以在该复数个线部中形成第二组切口。第一及第二DSA图案各包含一嵌段共聚物，该嵌段共聚物具有六方紧密堆积（HCP）形态结构及特征尺寸LO，该特征尺寸LO系介于0.9乘以该复数个线部之个别线部间的间距与1.1乘以该复数个线部之个别线部间的间距之间。