| 发明名称 |
膜形成装置以及膜形成方法;FILM FORMING DEVICE AND FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
本发明提供一种膜形成装置以及膜形成方法，使喷墨头4的喷嘴4的排列宽度设为在基板2相对移动时基板2的膜形成面2A的宽度方向最大长度以上，在使两者2、2A的相对移动完成为止的期间内，对多个喷嘴4中喷出膜液6的喷嘴4的个数进行可变控制，使得喷出的膜液6的附着终止于基板2的膜形成面2A与外周端部2c的边界，以抑制膜液6自基板2的外周端部2b向背面2c侧附着。 |
| 申请公布号 |
TW201527000 |
申请公布日期 |
2015.07.16 |
| 申请号 |
TW103100989 |
申请日期 |
2014.01.10 |
| 申请人 |
石井表记股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA ISHII HYOKI |
发明人 |
小泽康博 KOZAWA, YASUHIRO;吉冈正博 YOSHIOKA, MASAHIRO |
| 分类号 |
B05C9/10(2006.01);B05C11/10(2006.01);B05D1/32(2006.01);H01L21/31(2006.01) |
主分类号 |
B05C9/10(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗郑婷文詹富闵 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
