電気溶融された合成石英ガラスから成形体を製造する方法

摘要

電気溶融された合成石英ガラスから成形体を製造する公知の方法では、石英ガラス粒状物（１５）が電気的に加熱された溶融容器（３１）内で、軟化された石英ガラス材料（５７）を形成しながら加熱され、加熱された石英ガラス材料（５７）は、成形体へと成形される。連続的な溶融プロセスにおいて、有利な溶融特性を達成するために、本発明では、ヘリウムが封入された粒状物粒子から成る合成された石英ガラス粒状物（１５）を使用することが提案される。この粒状物粒子は、多孔質の顆粒粒子（９）から成るＳｉＯ２顆粒を形成しながら、熱分解法により製造したケイ酸を造粒処理し、少なくとも部分的にセラミックス材料から成る回転管（６）を備えたロータリキルン（１）内で、少なくとも３０体積％のヘリウムを含む処理ガス雰囲気中で、封入されたヘリウムを有する前記粒状物粒子を形成しながら、前記ＳｉＯ２粒子をガラス化することにより形成される。