发明名称 |
影像感测装置及其制造方法;IMAGE SENSOR DEVICES AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME |
摘要 |
本发明提供一种影像感测装置,包括:一种影像感测装置,包括:一基板;一通道,形成于该基板中;一光电转换区,形成于该基板中,位于该通道之一侧;一电压转换区,形成于该基板中,位于该通道之另一侧;一第一闸介电层,形成于该基板上;一第二闸介电层,形成于该基板上,其中该第一闸介电层与该第二闸介电层具有一接合面,位于该通道上,且该第一闸介电层之厚度大于该第二闸介电层之厚度;以及一闸极,形成于该第一闸介电层与该第二闸介电层上。本发明另提供一种影像感测装置之制造方法。 |
申请公布号 |
TW201528486 |
申请公布日期 |
2015.07.16 |
申请号 |
TW103101379 |
申请日期 |
2014.01.15 |
申请人 |
晶相光电股份有限公司 SILICON OPTRONICS, INC. |
发明人 |
姚裕源 YAO, YU YUAN |
分类号 |
H01L27/146(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文颜锦顺 |
主权项 |
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地址 |
新竹市科学工业园区工业东四路19之1号5楼 TW |