发明名称 影像感测装置及其制造方法;IMAGE SENSOR DEVICES AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要 本发明提供一种影像感测装置,包括:一种影像感测装置,包括:一基板;一通道,形成于该基板中;一光电转换区,形成于该基板中,位于该通道之一侧;一电压转换区,形成于该基板中,位于该通道之另一侧;一第一闸介电层,形成于该基板上;一第二闸介电层,形成于该基板上,其中该第一闸介电层与该第二闸介电层具有一接合面,位于该通道上,且该第一闸介电层之厚度大于该第二闸介电层之厚度;以及一闸极,形成于该第一闸介电层与该第二闸介电层上。本发明另提供一种影像感测装置之制造方法。
申请公布号 TW201528486 申请公布日期 2015.07.16
申请号 TW103101379 申请日期 2014.01.15
申请人 晶相光电股份有限公司 SILICON OPTRONICS, INC. 发明人 姚裕源 YAO, YU YUAN
分类号 H01L27/146(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文颜锦顺
主权项
地址 新竹市科学工业园区工业东四路19之1号5楼 TW