半导体元件及其形成方法;MECHANISMS FOR FORMING SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING ISOLATION STRUCTURE

摘要

一种半导体元件，其包括具有较上表面之半导体基底。半导体元件还包括自较上表面延伸进入半导体基底之中的凹陷。半导体元件更包括位于凹陷中之隔离结构。隔离结构具有较上部分及较下部分，且较下部分所含之碳浓度大于较上部分所含之碳浓度。