具有用于改善温度分布的内部流量调整的静电吸座;ELECTROSTATIC CHUCK WITH INTERNAL FLOW ADJUSTMENTS FOR IMPROVED TEMPERATURE DISTRIBUTION

摘要

说明一种静电吸座，具有用于改善温度分布之外部流量调整。在一个例子中，设备具有介电圆盘以静电力抓取矽晶圆。冷却板系紧固并热耦合至陶瓷圆盘。供应气室接收来自外部源的冷却剂，且复数个冷却剂腔室系热耦合至冷却板，并接收来自供应气室的冷却剂。返回气室系耦接至冷却区域，以从冷却区域排出冷却剂。复数个可调整流孔系设于供应气室和冷却区域之各者间，以控制从供应气室到冷却区域的冷却剂流速。