| 发明名称 | 用于在基体上制造金属-硼碳化物层的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于涂敷带有层的基体的PVD方法，所述层至少含有微晶金属硼碳化物相。在PVD方法的过程中，所述源输出是脉冲的，使得在600℃以下的基体温度在由此产生的层的x-射线光谱中，至少一个峰可以确定，其半峰宽允许得出结论：存在所述金属-硼碳化物的微晶相。 | ||
| 申请公布号 | CN104781444A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201380051231.9 | 申请日期 | 2013.09.09 |
| 申请人 | 欧瑞康表面解决方案股份公司，特吕巴赫 | 发明人 | M.阿恩特;H.鲁迪吉尔;H.博瓦蒂;J.施内德 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;H01J37/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 周铁;万雪松 |
| 主权项 | 用于涂敷带有涂层的基体的PVD方法，所述涂层至少含有微晶金属硼碳化物相，其特征在于：在PVD方法的范围中，所述源功率是脉冲的，使得在600℃以下的基体温度在由此沉积的层的x‑射线光谱中，至少一个峰可以确定，其半峰宽允许得出结论：存在所述金属‑硼碳化物的微晶相。 | ||
| 地址 | 瑞士特吕巴赫 | ||