一种氧化炉炉门的开关控制方法

摘要

本发明公开了一种氧化炉炉门的开关控制方法，其包括炉门到达开关动作的预设行程终点，判断对应的接近开关是否被触发；炉门向开关动作的反方向运动，判断该接近开关是否被取消触发；炉门向开关动作的正方向运动，判断该接近开关是否被触发，若是，则判断该接近开关无故障，该炉门开关动作完成。本发明通过接近开关的触发、取消触发和再次触发三步法，来确认接近开关是否有故障，避免了系统错误辨别炉门状态而导致后续发生碰撞的可能性，提高了半导体制造设备的安全性和可靠性。

主权项

一种氧化炉炉门的开关控制方法，该炉门的开关动作包括开启和关闭，该炉门开启的动作包括下降和旋转打开，炉门关闭的动作包括旋转关闭和上升，该氧化炉在对应每个炉门开关动作的完成位置处均设有接近开关，其特征在于：该炉门开关控制方法包括以下步骤：步骤S01，控制单元发出开关动作的指令，驱动炉门执行该开关动作，假定炉门到达该开关动作的预设行程终点之后停留T1时间，判断对应的接近开关是否被触发，若是，则接近开关反馈第一到位信号至控制单元，并进入下一步骤；若否，则判断该接近开关故障，炉门开关动作失败；步骤S02，控制单元驱动炉门向该开关动作的反方向运动T2时间或L1距离，判断该接近开关是否被取消触发，若是，则接近开关反馈未到位信号至控制单元，并进入下一步骤；若否，则判断该接近开关故障，炉门开关动作失败；步骤S03，控制单元驱动炉门向该开关动作的正方向运动，判断该接近开关是否被触发，若是，则接近开关反馈第二到位信号至控制单元，判断该接近开关无故障，该炉门开关动作完成；若否，判断该接近开关故障，炉门开关动作失败。