一种调测硅片切割中回收砂使用比例的方法

摘要

一种调测硅片切割中回收砂使用比例的方法，包括以下步骤：确定一种切割方法的工作台速度、线速度、钢线张力、浆料温度、浆料流量、导轮槽距，回收砂和全新砂按比例混合使用进行硅片切割；通过多次切割实验，验证出回收砂中回收碳化硅的粒度分布情况、圆度值、微粉含量和PH值，并找出使切割得到的硅片合格的最佳值，作为回收砂中碳化硅的质量控制点；在回收砂质量达到上述质量控制点的前提下，提高回收砂使用比例，并通过降低工作台速度参数、提高钢线的线速度参数、提高钢线张力参数、提高浆料流量参数、降低浆料温度参数的方式，使切割出的硅片质量合格。该方法通过确定回收砂的质量控制点，调整工艺参数，实现提高回收砂使用比例。

主权项

一种调测硅片切割中回收砂使用比例的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一确定一种切割方法的工作台速度、线速度、钢线张力、浆料温度、浆料流量、导轮槽距，回收砂和全新砂按比例混合使用进行硅片切割；步骤二通过多次切割实验，验证出回收砂中回收碳化硅的粒度分布情况、圆度值、微粉含量和PH值，并找出使切割得到的硅片合格的最佳值，作为回收砂的质量控制点；步骤三在回收砂质量达到上述质量控制点的前提下，提高回收砂使用比例，并通过降低工作台速度参数、提高钢线的线速度参数、提高钢线张力参数、提高浆料流量参数、降低浆料温度参数的方式，使切割出的硅片质量合格。