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<p>챔버(10)를 진공 배기시키기 위한 진공 펌프 시스템은 상기 챔버(10)와 연결된 메인 펌프 시스템(12, 14)을 포함한다. 보조 펌프 시스템(20)은 상기 메인 펌프 시스템(12, 14)과 연결되고, 상기 보조 펌프 시스템(10)은 이젝터 펌프를 포함한다. 그런 보조 펌프를 제공함으로써, 특히 진공 펌프 시스템이 한도 압력 범위 내에서 동작될 때 효율성 증가를 달성하는 것이 가능하다. 본 발명의 방법을 사용하여, 메인 펌프 시스템(12, 14)의 적어도 하나의 펌프의 회전 속도는 메인 펌프 시스템(12, 14)의 출구(16) 또는 입구(50)에서 측정된 압력에 좌우되어 제어된다.</p> |
