| 发明名称 | 研磨用组合物 | ||
| 摘要 | 提供一种研磨用组合物，其保存稳定性良好，能够以高速研磨缺乏化学反应性的研磨对象物。本发明为一种研磨用组合物，其pH为6以下，且包含表面固定有有机酸的二氧化硅、分子量不足2万的二元醇、和pH调节剂。 | ||
| 申请公布号 | CN104781366A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201380059960.9 | 申请日期 | 2013.10.25 |
| 申请人 | 福吉米株式会社 | 发明人 | 横田周吾;坂部晃一 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;H01L21/3105(2006.01)I;B24B37/00(2012.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种研磨用组合物，其pH为6以下，且包含：表面固定有有机酸的二氧化硅、分子量不足2万的二元醇、和pH调节剂。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||