发明名称 新型高精度高稳度脉冲型光电轴径测量系统
摘要 本发明公开了一种新型高精度高稳度脉冲型光电轴径测量系统,包括扩束凸透镜,扩束凸透镜前侧焦点处具有光源,后侧依次设有平行的前参考板和后参考板;前参考板的上半部分透光,下半部分刻有第一计数光栅;后参考板上半部分不透光,并在靠近顶端的位置开有一通光孔,下半部分刻有第二计数光栅;后参考板的上半部分后侧设有第一会聚凸透镜,在第一会聚凸透镜的后侧焦点处设有第一光电探测器,后参考板的下半部分后侧设有第二会聚凸透镜,在第二会聚凸透镜的后侧焦点处设有第二光电探测器;本发明不需要要求参考板匀速运动,大大提高测量精度和稳定性,基本满足超精密加工过程中的轴径检测精度需求。
申请公布号 CN104776806A 申请公布日期 2015.07.15
申请号 CN201510160227.7 申请日期 2015.04.07
申请人 浙江大学 发明人 汪凯巍;张鹏;徐晨;陆婷
分类号 G01B11/08(2006.01)I 主分类号 G01B11/08(2006.01)I
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人 邱启旺
主权项 一种脉冲型光电轴径测量系统,其特征在于,包括扩束凸透镜(15),所述扩束凸透镜(15)前侧焦点处具有光源(16),后侧依次设有平行的前参考板(14)和后参考板(12);所述前参考板(14)的上半部分透光,下半部分刻有第一计数光栅(13);所述后参考板(12)上半部分不透光,并在靠近顶端的位置开有一通光孔(2),下半部分刻有第二计数光栅(17);所述第一计数光栅(13)和第二计数光栅(17)结构相同,占空比均为(1);后参考板(12)的上半部分后侧设有第一会聚凸透镜(3),在第一会聚凸透镜(3)的后侧焦点处设有第一光电探测器(4),第一光电探测器(4)的两端接入第一光电输入电路(5),第一光电输入电路(5)的输出端与第一与非逻辑门(6)相连;后参考板(12)的下半部分后侧设有第二会聚凸透镜(11),在第二会聚凸透镜(11)的后侧焦点处设有第二光电探测器(10),第二光电探测器(10)的两端接入第二光电输入电路(9),第二光电输入电路(9)的输出端和第一与非逻辑门(6)的输出端均接入第二与非逻辑门(7),第二与非逻辑门(7)的输出端连接计数运算器(8);所述第一光电输入电路(5)和第二光电输入电路(9)均由依次串联的运算放大器和电压比较器组成;待测样品(1)置于前参考板(14)和后参考板(12)之间的上半空间的通光孔(2)以下的位置,前参考板(14)和待测样品(1)固定不动,当沿测长方向移动后参考板(12)时,使得通光孔(2)被由透光状态进入被待测样品(1)遮挡区域,并再次进入透光区域,第一光电输入电路(5)将依次输出高电平‑低电平‑高电平;同时,当第一计数光栅(13)和第二计数光栅(17)通路相重合时,光能够通过后参考板(12)的下半部,第二光电输入电路(9)输出高电平,当第一计数光栅(13)和第二计数光栅(17)错位时,第二光电输入电路(9)输出低电平,如此交错第二光电输入电路(9)将输出一系列脉冲;第一光电输入电路(5)的输出信号取“与非”后与第二光电输入电路(9)的输出信号相“与非”,传入计数运算器(8),上升沿触发计数运算器(8)加一,从而得到脉冲的个数N;光栅常数为d,则可求得待测样品(1)的轴径L为:L=N×d。
地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
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