具有结构化反射镜表面的空间光调制器

摘要

本发明涉及改进空间光调制器的方法，特别是对于反射式的微机械空间光调制器，用于具有简单的系统结构、高精确度、高功率处理能力、高吞吐量和/或高光学处理能力的应用。应用包括光学数据处理、图像投影、光刻、图像增强、全息摄影、光学计量、相干与波前控制、和自适应光学。本发明的特别方面是衍射式空间光调制器的消色差，因此它们可以顺序地、同时地适用于多个波长或作为在非常短脉冲中光谱增宽的结果来使用。

主权项

一种具有多个离轴阶跃表面反射镜的空间光调制器，适用于不分解各个反射镜的光学系统，所述多个离轴阶跃表面反射镜适合于改变相干的或部分相干的照明的相位和/或偏振，并且适合于利用中继照明的预定所得波的特性对相干的或部分相干的照明进行中继，包括：倾斜反射镜阵列，每个反射镜具有至少一个基本上平的反射表面和倾斜轴；其中，倾斜反射镜阵列中的各个反射镜或反射镜组中的至少一些反射镜具有在反射镜的区域之间或在反射镜组中的反射镜之间在表面结构上的差异，所述在表面结构上的差异是指在反射镜的区域之间或在反射镜和/或表面微结构之间在高度上的差异；表面结构化反射镜中的至少一些具有至少一个阶跃，该阶跃将该反射表面划分为多个反射表面并产生来自多个反射表面的中继照明的部分之间的相位差；至少一个阶跃相对于倾斜轴是离轴的；具有表面结构上的差异的反射镜中的至少一些适合于被单独驱动或成组驱动，以产生来自一组相邻反射镜的充分复合的强度和相位和/或偏振组合；以及所述来自一组相邻反射镜的充分复合的强度和相位和/或偏振组合不能由所述不分解各个反射镜的光学系统中的各个反射镜实现，也不能由具有单个平的反射表面的倾斜反射镜阵列或者具有阶跃反射表面、阶跃与倾斜轴重合的倾斜反射镜阵列来实现。