工件的外观检查装置及工件的外观检查方法

摘要

本发明提供能够在输送台上正确地将工件定位且不会产生对于工件的静电破坏和/或特性劣化的工件的外观检查装置和工件的外观检查方法。工件的外观检查装置，具备：输送六面体形状的工件的直线进给器；移载并输送来自直线进给器的工件的输送台；移载整列单元，其将来自直线进给器的工件移载到输送台上并使其整列；带电单元，其使输送台的下表面带电以保持工件；和拍摄工件的六个面的拍摄单元。移载整列单元具有：位于直线进给器与输送台之间的无振动部；和使工件整列的整列导引体。整列导引体包括俯视呈直线状的导引面。设有对输送台和整列导引体之间的间隙抽真空的抽真空单元。

主权项

一种工件的外观检查装置，其特征在于，具备：输送六面体形状的工件的直线进给器；输送台，其为圆形由透明体构成、旋转自如，工件从直线进给器被移载到移载点，该输送台在载置了该工件的状态下将工件在工件输送圆弧上输送；移载整列单元，其配设在直线进给器与输送台之间，使来自直线进给器的工件移载到输送台上并整列；保持单元，其配置于输送台下方，保持被载置在输送台上的工件；和拍摄单元，其拍摄输送台上的工件的六个面，移载整列单元具有：无振动部，其设置于直线进给器与输送台之间；和整列导引体，其设置于无振动部的下游侧，从整列工件的平面观察具有直线状的导引面，整列导引体的导引面，在平面上相对于将移载点和输送台的转轴连接的直线呈锐角，且在移载点的下游形成工件输送圆弧的切线，整列导引体位于输送台上，并且在整列导引体设有对整列导引体和输送台之间的间隙抽真空的抽真空单元，抽真空单元具有：真空源；和吸引通路，其设于整列导引体，一端向输送台与整列导引体之间的间隙开口，另一端与真空源连通，用抽真空单元对整列导引体和输送台之间的间隙抽真空，即使在输送台的旋转时间隙的尺寸变化，也不会从间隙向载置于输送台的工件喷射空气。