| 发明名称 |
METHANOFULLERENES |
| 摘要 |
본 발명은 신규한 메타노풀러렌 유도체, 그것으로부터 제조된 네거티브-형 포토레지스트 조성물 및 그것의 사용방법에 관한 것이다. 유도체, 그것의 포토레지스트 조성물 및 방법은 예를 들면 자외선 방사선, 초극자외선 방사선, 극자외선 방사선, X-선 및 하전된 입자 광선을 사용하는 미세 패턴 처리에 대해 이상적이다. |
| 申请公布号 |
KR20150082632(A) |
申请公布日期 |
2015.07.15 |
| 申请号 |
KR20157015722 |
申请日期 |
2013.11.01 |
| 申请人 |
ROBINSON ALEX PHILIP GRAHAM;XUE XIANG;FROMMHOLD ANDREAS;MCCLELLAND ALEXANDRA;ATHENS, DREW;PALMER RICHARD EDWARD;YANG DONGXU;PREECE JON ANDREW |
发明人 |
ROBINSON ALEX PHILIP GRAHAM;PREECE JON ANDREW;PALMER RICHARD EDWARD;FROMMHOLD ANDREAS;YANG DONGXU;MCCLELLAND ALEXANDRA;ATHENS DREW;XUE XIANG |
| 分类号 |
C07C69/76;C07C69/753;C07C69/96 |
主分类号 |
C07C69/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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