| 发明名称 | 一种热式单波长光开关及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本申请提供一种热式单波长光开关及其制作方法，该热式单波长光开关包括：衬底1、下层复合膜3、光反射层4、上层复合膜7、红外吸收板11、和条形金属层9，其中，在该光反射层4和该上层复合膜7之间形成为空腔15。根据本申请，该热式单波长光开关只需一小型可控热辐射光源，无需其他外部电路的设计可以满足光开关效果，使用方便且成本低廉。 | ||
| 申请公布号 | CN104777558A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201510167115.4 | 申请日期 | 2015.04.09 |
| 申请人 | 上海新微技术研发中心有限公司 | 发明人 | 费跃;王旭洪;张颖 |
| 分类号 | G02B6/35(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京庆峰财智知识产权代理事务所(普通合伙) 11417 | 代理人 | 谢蓉 |
| 主权项 | 一种热式单波长光开关，包括：衬底(1)，在所述衬底(1)中形成有凹槽(2)和围绕所述凹槽(2)的台阶部(2a)；下层复合膜(3)，其形成为至少覆盖所述凹槽(2)的底部和侧壁；光反射层(4)，其形成于所述下层复合膜(3)的表面，并且，所述光反射层(4)具有露出所述下层复合膜(3)的通孔(5)；上层复合膜(7)，其与所述光反射层(4)隔开设置，所述上层复合膜(7)具有中央部(12)、位于中央部两侧的第一部(7a)和第二部(7b)、连接于所述第一部(7a)和所述中央部(12)的条形的第三部(7c)、连接于所述第二部(7b)和所述中央部(12)的条形的第四部(7d)、位于所述台阶部(2a)上的第五部(7e)、以及用于将所述第一部(7a)和所述第二部(7b)分别与所述第五部(7e)连接的悬浮梁(14)；红外吸收板(11)，其形成于所述第一部(7a)和所述第二部(7b)的表面；以及条形金属层(9)，其形成于所述第三部(7c)和所述第四部(7d)的表面；其中，在所述光反射层(4)和所述上层复合膜(7)之间形成为空腔(15)。 | ||
| 地址 | 201800 上海市嘉定区城北路235号老园区3号楼2楼 | ||