工序监视诊断装置及工序监视诊断程序

摘要

工序监视诊断装置具备：分类部；模型构建部，具有识别部及异常检测用数据定义部；以及监视诊断部，具有提取部及异常等级判断部。分类部基于属性信息对工序数据或者时序数据进行分类。识别部基于被分类的时序数据制作日常模式数据和非日常模式数据。异常检测用数据定义部基于非日常模式数据制作异常诊断模型。提取部提取被分类的工序数据相对于日常模式数据的背离度。异常等级判断部将背离度应用于异常诊断模型来计算异常检测用数据和阈值，并基于异常检测用数据是否超过阈值判断异常等级。

主权项

一种工序监视诊断装置，取得由对象工序中设置的传感器计测到的工序数据，其中，具备：分类部；模型构建部，具有识别部及异常检测用数据定义部；以及监视诊断部，具有提取部及异常等级判断部，上述分类部保持根据上述对象工序所处的环境而分类的属性信息，并基于上述属性信息对上述工序数据、以及由预先设定的多个期间的过去的工序数据构成的多个时序数据进行分类，上述识别部通过鲁棒地推测被分类为多个类别的上述时序数据各自的代表值来制作每个上述类别的日常模式数据，并基于每个上述类别的日常模式数据制作非日常模式数据，上述异常检测用数据定义部基于上述多个非日常模式数据的每个，制作用于计算异常检测用数据的第一定义式、以及用于计算上述异常检测用数据的阈值的第二定义式，上述提取部提取上述被分类的工序数据相对于上述多个日常模式数据的背离度，上述异常等级判断部通过将上述多个背离度分别应用于上述第一定义式来按照每个上述类别计算异常检测用数据，通过将上述多个背离度分别应用于上述第二定义式来按照每个上述类别计算阈值，通过按照每个上述类别判断上述异常检测用数据是否超过上述阈值来判断异常等级。