| 发明名称 | 基板处理装置的异常检测装置、及基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种使基板处理装置的异常的检测精度提高的基板处理装置的异常检测装置、及基板处理装置。异常检测装置(520)包括数据收集部(522)，数据收集部(522)收集由设于CMP装置的传感器(270-1～270-a、370-1～370-b、470-1～470-c)所检测的数据。此外，异常检测装置(520)包括判定部(524)，判定部(524)从储存有规定关于CMP装置的基板处理工序或方法的选单数据的选单存储部(512)读取选单数据，比较读取的选单数据与由数据收集部(522)所收集的数据，存在差异的情况下，判定为CMP装置有异常。 | ||
| 申请公布号 | CN104779185A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201510018900.3 | 申请日期 | 2015.01.14 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 杉山光德;井上正文 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;B24B37/04(2012.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 彭里 |
| 主权项 | 一种基板处理装置的异常检测装置，其特征在于，包括：数据收集部，其收集由设于基板处理装置的传感器所检测的数据；以及判定部，其从储存有选单数据的选单存储部读取选单数据，基于所读取的选单数据与通过所述数据收集部所收集的数据，判定所述基板处理装置有无异常，其中所述选单数据规定关于所述基板处理装置的基板处理的工序或方法。 | ||
| 地址 | 日本东京都大田区羽田旭町11番1号 | ||