一种层流等离子发生器阴极结构

摘要

一种层流等离子发生器阴极结构。由阴极罩和阴极体组合而成，阴极体外圈上加工有均匀的通气槽，与阴极罩的内通孔组合后形成一圈均布的小孔气流通道，等离子工作气体从这些通道流出后可以获得稳定的气体射流；阴极体外径上的通气槽可以是平行于中轴线的直槽，也可以是与外径母线呈一定的角度b的螺旋通气槽，b角度范围从0°~20°。

主权项

一种层流等离子发生器阴极结构，包括阴极体（1）和阴极罩（2），其特征在于：阴极体（1）外径上加工有至少两个螺旋通气槽，阴极体（1）与阴极罩（2）组合后形成气流通道，螺旋通气槽加工在阴极体（1）的外圈上，螺旋通气槽与阴极体（1）中轴线平行，螺旋通气槽与阴极体（1）的外径母线的夹角为0°~20°。