| 发明名称 | RF MEMS开关硅梁结构 | ||
| 摘要 | RF MEMS开关硅梁结构，包括上电极、锚点，其特征在于：所述上电极和锚点采用对角Z形梁连接。本发明通过选取合理结构的硅梁结构，有效降低其谐振频率和阈值电压，开关响应时间短、易集成。 | ||
| 申请公布号 | CN104779121A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201510138222.4 | 申请日期 | 2015.03.27 |
| 申请人 | 苏州锟恩电子科技有限公司 | 发明人 | 杨俊民 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H59/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人 | 董建林 |
| 主权项 | RF MEMS开关硅梁结构，包括上电极、锚点，其特征在于：所述上电极和锚点采用对角Z形梁连接。 | ||
| 地址 | 215153 江苏省苏州市高新区通安镇华金路255-7号 | ||