低缺陷率电致变色装置的制造

摘要

本申请涉及低缺陷率电致变色装置的制造。先前的电致变色装置常常存在高缺陷率水平。这些缺陷可表现为损害电致变色转变的针孔或斑点。这一点对例如电致变色建筑玻璃等许多应用来说是无法接受的。缺陷率低的改良型电致变色装置可通过在单一整合沉积系统中沉积电致变色装置的某些分层组件来制造。当在例如玻璃窗等衬底上沉积和/或处理所述层时，所述衬底从未离开受控周围环境，例如具有极低粒子含量的低压受控氛围。所述层可使用物理气相沉积来沉积。

主权项

一种用于在玻璃衬底上制造无机和固态电致变色装置涂层的沉积系统，所述系统包括：多个沉积台，其可操作以使所述玻璃衬底通过所述多个沉积台，其中所述多个沉积台包括：(i)两个或多个沉积台，其包含两种或多种材料源，所述材料源用于沉积所述无机和固态电致变色装置涂层的电致变色材料层和反电极材料层中的每一者，和(ii)锂沉积台，其具有锂金属溅镀靶且经配置以沉积锂金属至所述电致变色材料层或所述反电极材料层上；衬底架，其经配置以在实质上垂直定向上固持所述玻璃衬底，同时所述衬底架平移过至少所述锂沉积台和所述两个或多个沉积台；和含有程序指令的控制器，其用于使所述玻璃衬底以在所述玻璃衬底上沉积所述无机和固态电致变色装置涂层的方式通过所述多个沉积台。