一种实现激光束远距离精确聚焦的装置

摘要

本发明提供了一种实现激光束远距离精确聚焦的装置，所述装置包括调焦装置、检焦装置两个部分。利用由检焦缩束器、哈特曼微透镜阵列与CCD相机组成的检焦装置能实时精确检测发射激光束的离焦量，通过检测的离焦量控制平移台搭载调焦扩束器次镜沿调焦扩束器光轴移动，达到控制激光束远距离精确聚焦的目的。本发明的装置结构简单，聚焦精度高，无需事先计算调焦曲线，使用方便，适合在远距离高精度激光调焦系统中应用。

主权项

一种实现激光束远距离精确聚焦的装置，其特征在于：所述装置包括调焦扩束器、平面分光镜（3）、检焦缩束器、哈特曼波前传感器、基座（10）、平移台（8）、导轨（9）；调焦扩束器由调焦扩束器主镜（2）和调焦扩束器次镜（1）组成；检焦缩束器由检焦缩束器主镜（4）和检焦缩束器次镜（5）组成；哈特曼波前传感器由哈特曼微透镜阵列（6）和CCD相机（7）组成，哈特曼微透镜阵列包括多个处于同一平面的微透镜；调焦扩束器次镜（1）安装在平移台（8）上，平移台（8）通过导轨（9）沿调焦扩束器光轴平移；调焦扩束器主镜（2）、平面分光镜（3）、检焦缩束器主镜（4）、检焦缩束器次镜（5）、哈特曼微透镜阵列（6）、CCD相机（7）依次安装在基座（10）上；平面分光镜（3）与调焦扩束器光轴为45°角设置；检焦缩束器主镜（4）与检焦缩束器次镜（5）共焦设置；CCD相机（7）的靶面位于哈特曼微透镜阵列（6）的焦面上。