双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器

摘要

本发明公开了一种放电腔的导流装置，所述放电腔具有对称的结构，且包括两对电极，该导流装置包括两个叶轮，该两个叶轮分别对应所述两对电极中的一对，其安装位置关于所述放电腔的对称面对称，且位于所述电极的下方，其转动轴平行于电极的轴向，所述电极的轴向平行于所述放电腔的底平面，并且该两个叶轮的转动方向相反，转速相同。所述电流装置还包括阻流片和导流板，以使放电气流以通过放电区域的方式在放电腔内高速、均匀地循环流动，以保证放电质量，从而提高激光能量及其稳定性。

主权项

一种放电腔的导流装置，所述放电腔具有对称的结构，且包括两对电极，其特征在于，所述放电腔的对称面平行于光轴方向，并垂直于放电腔的底面；该导流装置包括两个叶轮，该两个叶轮分别对应所述两对电极中的一对，其安装位置关于所述放电腔的对称面对称，且位于所述电极的下方，其转动轴平行于光轴方向，所述电极的轴向平行于所述放电腔的底平面，并且该两个叶轮的转动方向相反，转速相同。