发明名称 PR0CESSED SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
摘要 <p>양측 개구면의 크기가 맞추어져 있는 관통 구멍을 가지는 가공 기판, 및 당해 가공 기판을 용이하고 생산성 양호하게 제조하는 방법을 제공한다. 본 발명의 가공 기판(1)은 광 투과성을 가지는 기판에 복수의 관통 구멍(6)이 마련되어 이루어지는 가공 기판(1)으로서, 각각의 상기 관통 구멍(6)에 있어서, 보다 큰 개구면의 지름과 보다 작은 개구면의 지름과의 차가 상기 보다 큰 개구면의 지름에 대하여 5% 이하이므로, 양측 개구면의 크기가 맞추어져 있는 관통 구멍(6)을 가지는 가공 기판(1)을 제공할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101537117(B1) 申请公布日期 2015.07.15
申请号 KR20090123038 申请日期 2009.12.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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