| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein System zur Zwischenlagerung von Behältnissen für Gegenstände, die für eine Prozessierung in mehreren voneinander getrennt durchzuführenden Verfahrensschritten vorgesehen sind, wie insbesondere Wafer der Halbleitertechnik oder für die Herstellung von Solarzellen. Bei diesem System sind an einer Decke hängend mehrere Pufferstellplätze (3) für die Zwischenlagerung von Behältnissen vorhanden, die mittels eines in mindestens zwei Achsen manipulierbaren Greifersystems (1) mit jeweils mindestens einem Behältnis bestückt werden können. Mindestens ein Behältnis kann wieder aus einem Pufferstellplatz (3) entnommen werden. Am System ist ein Eingang (4) und/oder Ausgang (5) für die Zu- und Abfuhr von Behältnissen vorhanden, der/die an ein Behältnistransportsystem angeschlossen ist/sind. Zusätzlich ist neben oder innerhalb des Systems ein Aufzug (2) für einen vertikalen Transport von Behältnissen angeordnet, in den mittels des Greifersystems (1) Behältnisse von einem Pufferstellplatz (3) eingeführt beziehungsweise aus dem Aufzug (2) entnommen und zu einem Pufferstellplatz (3) oder zum Ausgang (5) transportiert werden können.</p> |
