发明名称 直接键合的晶格失配的半导体器件
摘要 本发明涉及直接键合的晶格失配的半导体器件。半导体器件可包含第一组件和第二组件。第一组件可包含第一键合层。第二组件可包含第二衬底和与第一键合层直接键合的第二键合层。第一键合层和第二键合层可相互晶格失配。可选择下列至少之一:第一键合层与第一衬底晶格失配,和第二键合层与第二衬底晶格失配。
申请公布号 CN104779211A 申请公布日期 2015.07.15
申请号 CN201410741083.X 申请日期 2014.12.08
申请人 波音公司 发明人 D·C·劳;R·R·金;D·D·克鲁特;D·波胡萨利
分类号 H01L23/00(2006.01)I 主分类号 H01L23/00(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 赵蓉民;张全信
主权项 一种半导体器件,其包含:第一组件,其包含第一键合层和第一衬底;和第二组件,其包含:第二衬底;和第二键合层,其与所述第一键合层直接键合,其中所述第一键合层和所述第二键合层相互晶格失配,并且其中下列至少之一被选择:所述第一键合层与所述第一衬底晶格失配,和所述第二键合层与所述第二衬底晶格失配。
地址 美国伊利诺伊州