发明名称 |
直接键合的晶格失配的半导体器件 |
摘要 |
本发明涉及直接键合的晶格失配的半导体器件。半导体器件可包含第一组件和第二组件。第一组件可包含第一键合层。第二组件可包含第二衬底和与第一键合层直接键合的第二键合层。第一键合层和第二键合层可相互晶格失配。可选择下列至少之一:第一键合层与第一衬底晶格失配,和第二键合层与第二衬底晶格失配。 |
申请公布号 |
CN104779211A |
申请公布日期 |
2015.07.15 |
申请号 |
CN201410741083.X |
申请日期 |
2014.12.08 |
申请人 |
波音公司 |
发明人 |
D·C·劳;R·R·金;D·D·克鲁特;D·波胡萨利 |
分类号 |
H01L23/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 |
代理人 |
赵蓉民;张全信 |
主权项 |
一种半导体器件,其包含:第一组件,其包含第一键合层和第一衬底;和第二组件,其包含:第二衬底;和第二键合层,其与所述第一键合层直接键合,其中所述第一键合层和所述第二键合层相互晶格失配,并且其中下列至少之一被选择:所述第一键合层与所述第一衬底晶格失配,和所述第二键合层与所述第二衬底晶格失配。 |
地址 |
美国伊利诺伊州 |