一种膜固化装置

摘要

本发明涉及液晶显示制造技术领域，特别涉及一种膜固化装置，用于提高膜固化的效率。本发明公开了一种膜固化装置，包括：具有炉腔的炉体；设置在所述炉体上的炉门；设置在所述炉腔内的微波加热单元；与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元；以及设置在所述炉腔内的进排气单元。采用微波加热的方式，对被加热物料进行固化加热时，可以使被加热物料在较短的时间内达到设定的加热温度；另外，本发明提供的膜固化装置还可以在加热升温完成后进行冷却，减少了从加热炉周转到冷却炉的周转时间；因此，利用本发明提供的膜固化装置进行膜固化，可以提高膜固化的效率。

主权项

一种膜固化装置，包括：具有炉腔的炉体，设置在所述炉体上的炉门；其特征在于，还包括：设置在所述炉腔内的微波加热单元；与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元；以及设置在所述炉腔内的进排气单元，所述进排气单元包括用于使气体进入所述炉腔内的进气子单元；所述进气子单元分别与供常温气体管路和冷却气体管路连通，用于向炉腔内供常温气体和冷却气体；当开启微波加热单元时，同时也开启常温气体管路，通过进气子单元将常温气体送进炉腔内，进入炉腔内的气体在基板表面流动；当加热完成后，关闭微波加热单元，关闭常温气体管路，开启冷却气体管路，使冷却空气进入炉腔内将取向膜冷却。