| 发明名称 | 吸附台 | ||
| 摘要 | 本发明是有关于一种使用多孔质板的吸附台，且具有可调整作用于基板的吸附力的大小或分布的构造。该吸附台(10)包含：载台本体(13)，其是由以多孔质板形成且上面(11a)载置基板(G)的载台(11)、及底座(12)构成，且以内部形成有中空空间(14)并且载台的背面(11b)面向中空空间(14)的方式构成；及真空排气机构(17)，其对中空空间(14)进行减压；载台的背面(11b)是由无透气性的密封构件(21)覆盖，并且在密封构件的一部分形成有泄漏孔(22)，若使中空空间(14)变成减压状态则自泄漏孔(22)经由多孔质板而产生泄漏。 | ||
| 申请公布号 | CN102446799B | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201110290655.3 | 申请日期 | 2011.09.21 |
| 申请人 | 三星钻石工业股份有限公司 | 发明人 | 冈岛康智 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;B23Q3/08(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 一种吸附台，其包含由以多孔质板形成且上面载置基板的载台与支持上述载台的周缘部分的底座构成，且以内部形成有中空空间并且上述载台的背面面向上述中空空间的方式构成的载台本体、及对上述中空空间进行减压的真空排气机构；其特征在于：上述载台的背面是由无透气性的密封构件覆盖，并且在上述密封构件的一部分形成有泄漏孔；上述泄漏孔不贯穿上述载台；上述泄漏孔是自密封构件向深度方向延伸且在多孔质板形成泄漏孔的底而成；上述泄漏孔是在载台的背面呈格子状地形成有多个；若使中空空间成为减压状态则自上述泄漏孔经由多孔质板而产生泄漏。 | ||
| 地址 | 日本大阪府吹田市南金田2丁目12番12号 | ||