发明名称 |
一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器 |
摘要 |
一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器,适用于气体测量领域。本实用新型的目的是要解决现有的气体传感器检测参数单一、受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器其特征在于:主要有硅基底、二氧化硅绝缘层、镍铬合金膜加热线圈,氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器,内置镍铬合金膜加热线圈,可为传感器提供适应的工作温度,从而提高精度,悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费,MEMS技术的应用,不仅实现多传感器的集成,还可使本传感器体积变小、成本降低。 |
申请公布号 |
CN204479545U |
申请公布日期 |
2015.07.15 |
申请号 |
CN201420796429.1 |
申请日期 |
2014.12.17 |
申请人 |
哈尔滨理工大学 |
发明人 |
兰云萍;施云波;赵文杰;冯侨华;王欣 |
分类号 |
G01N33/00(2006.01)I;G01D3/036(2006.01)I |
主分类号 |
G01N33/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器,其特征是:它由硅基底(1)、二氧化硅绝缘层(2)、镍铬合金膜加热线圈(3)、气体传感器单元焊盘(4)、镍铬合金膜加热线圈焊盘(5)、氧化铝绝缘层(6)、气体传感器单元(7)、环境温湿度传感器单元(8)、加热温度传感器单元(9)、连接线(10)和凹槽(11)组成;所述的硅基底(1)与所述的镍铬合金膜加热线圈(3)、气体传感器单元焊盘(4)、镍铬合金膜加热线圈焊盘(5)通过二氧化硅绝缘层(2)连接并实现绝缘;所述的镍铬合金膜加热线圈(3)与所述的气体传感器单元(7)、环境温湿度传感器单元(8)、加热温度传感器单元(9)、连接线(10)通过氧化铝绝缘层(6)连接并实现绝缘。 |
地址 |
150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号 |