深紫外光刻机照明系统光瞳面光强分布的控制装置

摘要

一种深紫外光刻机照明系统光瞳面光强分布的控制装置，包括：激光源、扩束器、自由曲面反射镜、微反射镜阵列、傅里叶透镜组、光瞳面。本发明采用自由曲面反射镜代替转折反射镜和微透镜阵列实现光束的分割与聚焦，减小光能的损失，提高深紫外光刻机的曝光效率。本发明自由曲面反射镜具有加工装调、容易的优点。

主权项

一种深紫外光刻机照明系统光瞳面光强分布的控制装置，包括：激光源(1)，特征在于其构成是：沿所述的激光源(1)输出光束传播方向依次是：扩束器(2)、自由曲面反射镜(3)、微反射镜阵列(4)和傅里叶透镜组(5)，所述的微反射镜阵列(4)还有微反射镜阵列控制器(7)，所述的自由曲面反射镜(3)包括许多相同的凹球面反射镜单元，凹球面反射镜单元的数目为N*N，N满足50≤N≤100，凹球面反射镜单元的曲率半径为‑sr，其中“‑”表示该面为凹面，sr满足1000mm≤sr≤3000mm，凹球面反射镜单元的长和宽分别为a和b，长宽比s＝a/b，s满足0.8≤s≤1.2，所述的傅里叶透镜组(5)的焦距f与所述的凹球面反射镜单元的曲率半径‑sr满足以下关系：所述的自由曲面反射镜(3)的参数与微反射镜阵列(4)的参数满足以下关系：$2.44*\lambda *\frac{\mathrm{sr}}{2}/\min (a,b)+\frac{\mathrm{sr}}{2}*\theta \le c*\sqrt{k}$其中，min(a,b)表示取所述自由曲面反射镜(3)的凹球面反射镜单元(3.1)的长和宽中较小的值，θ为所述激光源(1)输出光束经过扩束器(2)后的发散角，λ表示所述激光源(1)的中心波长，c表示所述微反射镜阵列(4)上微反射镜单元(41)的边长，k为所述微反射镜阵列(4)的填充因子。