| 摘要 |
【課題】どのような特性のワークでも高い精度で流量を測定する。【課題を解決する手段】電空レギュレータを調整して基準ワークに対し規定圧PPを含む所定範囲の一連のテスト圧の気体を順次供給し、そのときのそれぞれの流量を流量計で測定し、基準ワークの特性曲線として記憶部に記憶する。測定対象ワークに対し上記所定範囲内のテスト圧Pbの気体を供給し、そのときの流量を流量値Qbとして流量計で測定し、演算部は基準ワークの特性曲線から規定圧PPとテスト圧Pbにそれぞれ対応する流量値QmPとQmbを読み取り、測定対象ワークの規定圧PPでの流量をQPとすると、Qmb：Qb＝QmP：QPの比例関係が成立すると近似して流量値QPを流量値QmPと、Qmbと、Qbとから計算する。【選択図】 図２ |
