光激发光剂量检测晶体制备方法

摘要

一种光激发光剂量检测晶体制备方法，该方法是先将氧化铝（Al₂O₃）以碳包覆起来，在真空下经过扩散（Diffusion）后，使碳原子扩散进入氧化铝晶格内，再于大气下进行退火（Annealing），使氧与碳原子反应，透过C+O转换成CO，或C+O₂转换成CO₂，使氧化铝晶体产生氧空缺（Oxygen Vacancy），而可简易制得碳分布均匀的检测晶体（C:Al₂O₃）结构，具有光激发光剂量响应灵敏度高，且线性剂量响应范围宽的特性。

主权项

一种光激发光剂量检测晶体制备方法，其特征在于，该方法至少包含下列步骤：（A）于一氧化铝（Al₂O₃）外面涂覆一层碳膜，以碳将氧化铝包覆形成碳包覆氧化铝结构；（B）将该碳包覆氧化铝结构置于一高温炉中，在抽真空无氧环境下，以1500℃‑1900℃的加热处理进行扩散程序，使碳原子扩散进入氧化铝晶格内；（C）在大气下的开放式高温炉中，以1400℃‑1800℃的加热处理进行退火程序，使氧化铝内部晶格氧与碳原子反应而形成氧空缺缺陷，以制成检测晶体C:Al₂O₃结构。