| 发明名称 | 激光晶化光路系统、低温多晶硅薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及激光晶化领域，公开了一种激光晶化光路系统，在所述激光晶化光路系统中设置有干涉模块，所述干涉模块包括相互平行的第一全反镜、第二全反镜、及第一半透半反镜，所述第一半透半反镜设于第一全反镜与第二全反镜之间，所述第一全反镜的角度可调节，使用时调节所述第一全反镜的角度使其偏移所述平行方向。采用该技术具有结构设计简单、激光光能利用率高和光强分布稳定的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN104775161A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201510096882.0 | 申请日期 | 2015.03.04 |
| 申请人 | 信利（惠州）智能显示有限公司 | 发明人 | 陈卓;陈建荣;任思雨;苏君海;李建华 |
| 分类号 | C30B30/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I | 主分类号 | C30B30/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 温旭 |
| 主权项 | 一种激光晶化光路系统，其特征在于，在所述激光晶化光路系统中设置有干涉模块，所述干涉模块包括相互平行的第一全反镜、第二全反镜、及第一半透半反镜，所述第一半透半反镜设于第一全反镜与第二全反镜之间，所述第一全反镜的角度可调节，使用时调节所述第一全反镜的角度使其偏移所述平行方向。 | ||
| 地址 | 516006 广东省惠州市仲恺高新区仲恺大道666号科融创业大厦13层 | ||