发明名称 一种掩膜版及液晶显示器制造方法
摘要 本发明提供一种掩膜版及液晶显示器制造方法,该液晶显示器制造需要至少形成2层薄膜图案的工艺在玻璃基板上,每层薄膜图案均需要一掩膜版,每张掩膜版包括位于中间的挖空的图案区域和位于图案区域周边的外围区域,在所述图案区域和外围区域之间设有至少一尺规,每层掩膜版的尺规在玻璃基板上的投影不重合。本发明通过在液晶显示器制造过程中,将掩膜版内设置具有刻度的尺规,在曝光形成特定图案后可以一次性的将玻璃基板周边剩余的残留图案能够一次性曝光掉,从而可以节约生产成本和方便操作。
申请公布号 CN103345117B 申请公布日期 2015.07.15
申请号 CN201310260343.7 申请日期 2013.06.24
申请人 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 发明人 刘文雄
分类号 G03F1/00(2012.01)I;G03F1/44(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I 主分类号 G03F1/00(2012.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种掩膜版,其包括:位于中间的挖空的图案区域和位于图案区域周边的外围区域,其特征在于:在所述图案区域和外围区域之间设有至少一尺规,所述尺规具有位于图案区域的正值区域和位于外围区域的负值区域,正值区域和负值区域之间为0。
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