发明名称 |
VOC样品分析装置 |
摘要 |
本实用新型提供一种VOC样品分析装置,包括:控制管道、氮气源、多个待分析样品源、连接管道、开关阀、流量控制器、样品分析仪器及传感器。通过将多个待分析样品源置于同一分析系统中,只需要通过开关阀的开关即可实现不同待分析样品之间分析的切换,大大节省了待分析样品分析流程所需的时间;通过设置传感器可以实现整个分析流程的全自动化,避免了操作人员直接接触待分析样品,杜绝了由于人为操作而导致的样品污染或由于人为操作不当导致待分析样品存放时间过长而导致的样品失效问题的发生;同时,整个分析流程实现自动化也可以大大提高样品分析的速度,进而提高了样品瓶的利用率及分析数据的实时性。 |
申请公布号 |
CN204479601U |
申请公布日期 |
2015.07.15 |
申请号 |
CN201520168725.1 |
申请日期 |
2015.03.24 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
施燕莉 |
分类号 |
G01N35/00(2006.01)I;G01N35/10(2006.01)I |
主分类号 |
G01N35/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
余明伟 |
主权项 |
一种VOC样品分析装置,其特征在于,至少包括:控制管道、氮气源、多个待分析样品源、连接管道、开关阀、流量控制器、样品分析仪器及传感器;其中,所述氮气源及每个所述待分析样品源分别通过一根所述连接管道与所述控制管道独立连接;所述开关阀位于所述氮气源及所述待分析样品源与所述控制管道的连接处,适于控制所述氮气源及所述待分析样品源与所述控制管道的连通与断开;所述流量控制器位于所述氮气源及所述待分析样品源与所述控制管道的连接处,适于量测并控制所述氮气源中的氮气或待分析样品源中的待分析样品进入所述控制管道的流量;所述样品分析仪器通过所述连接管道与所述控制管道相连接;所述传感器与所述流量控制器、所述开关阀及所述样品分析仪器电性连接,适于控制所述开关阀及所述样品分析仪器作动。 |
地址 |
100176 北京市大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |