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发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK WITH PHOTO-PATTERNABLE SOFT PROTRUSION CONTACT SURFACE
摘要 <p>본 발명의 일 구현예에 따르면, 제조가능성 및 접지된 표면 플래튼(압반) 디자인과의 상용성을 개선하는 동시에, 웨이퍼, 작업편 또는 다른 기판을 위한 비-마모성 접촉 표면을 제공하는 정전 척용 연성 돌기 구조를 제공한다. 연성 돌기 구조는 포토패터닝-가능 중합체를 포함한다.</p>
申请公布号 KR20150082271(A) 申请公布日期 2015.07.15
申请号 KR20157011538 申请日期 2013.10.29
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 LIN I KUAN;COOKE RICHARD A.;RYBCZYNSKI JAKUB
分类号 H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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