发明名称 | 基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统 | ||
摘要 | 一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统,该系统包括:一石英音叉;一压电陶瓷扫描台,所述石英音叉用圆头螺丝固定在压电陶瓷扫描台上;一锁相放大器,其端口1、端口2通过PCB板与石英音叉的两端相连;一光电倍增管,其输入端通过一滤光片组与收集光纤探针相连;一激光器,其输出端与一激发光纤探针相连;一控制箱,其端口与光电倍增管的输出端相连,其端口与锁相放大器的端口3相连,其端口3与压电陶瓷扫描台相连;一电脑,其输入端与控制箱的端口4相连。本发明可以提高现有的近场光学显微镜的灵敏度。 | ||
申请公布号 | CN104777331A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
申请号 | CN201510179862.X | 申请日期 | 2015.04.16 |
申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 杨惠霞;漆晓琼;谢亮 |
分类号 | G01Q60/18(2010.01)I | 主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 任岩 |
主权项 | 一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统,该系统包括:一石英音叉;一压电陶瓷扫描台,所述石英音叉用圆头螺丝固定在压电陶瓷扫描台上;一锁相放大器,其端口1、端口2通过PCB板与石英音叉的两端相连;一光电倍增管,其输入端通过一滤光片组与收集光纤探针相连;一激光器,其输出端与一激发光纤探针相连;一控制箱,其端口与光电倍增管的输出端相连,其端口与锁相放大器的端口3相连,其端口3与压电陶瓷扫描台相连;一电脑,其输入端与控制箱的端口4相连。 | ||
地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |